为您介绍使用气密性测漏仪的必要性

　　真空体系要求获得并保持真空状态，假如存在严重的漏气则是体系的重大缺陷，那么就需要进行相关的真空检漏。

　　透气和漏气的本质不同。透气是气体从密度大的一侧向密度小的一侧进入、分散、通过和逸出的过程，任何材料都有必定的浸透率。漏气是因为材料自身的缺陷或封口部不良，导致气体分子从高压侧流向低压侧的现象。还有一种情况是常温下不发生漏气，但温度变化时由热膨胀系数的差异也可能导致漏气。图1是影响体系真空度的气体来源示意图。

　　严格地讲，任何真空体系都有漏气现象存在，漏气是肯定的。针对不同的真空体系，可以容许有必定的漏率。目前的真空技术，可以确保超高真空体系的容许漏率≤1.33×10 -11 Pa.m3/s。

　　真空检漏已经成为真空体系制作和运用中不行缺少的环节。真空检漏的办法多种多样，最具代表性的氦质谱检漏和四极质谱仪残留气体剖析。