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技术参数：

最小可检漏率（负压模式）  5×10-13Pa?m3/s

最小可检漏率（正压模式）  1×10-8Pa?m3/s

检漏口压强  粗检 1500Pa

            中检 200Pa

            精检 40Pa

响应时间                ＜1s

启动时间                ≤3min

前级油泵抽速              0.5L/s  

外形尺寸（W×D×H）         845×465×988

重量                   73Kg

氦质谱检测仪的功能描述：

1.支持正压检漏，负压检漏；

2.自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果；

3.优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应；

4.高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦；

5.支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底；

6.机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试；

7.机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试；

8.配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤；

9.双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击；

10.支持定制检漏工作台，更加便捷使用。

氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外氦系惰性气体，不腐蚀设备，常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏气量大小。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。